ICP-MS代表电感耦合等离子体质谱，可以分析地球上几乎所有的元素。ICP-MS仪器中使用的等离子体除了取向和线圈接地方式外，与发射光谱中使用的等离子体基本相同。所用的质量分析器、离子检测器和数据采集系统类似于四极杆GC-MS仪器。质量分析仪多采用四极质谱计，也有双焦扇形磁场质谱计和飞行时间质谱计，分辨率高。ICP-MS技术是20世纪80年代发展起来的一种新的分析测试技术。它结合了ICP的高温(8000K)电离特性和四极质谱仪灵敏、快速扫描的优点，形成了一种新的、最强大的元素分析、同位素分析和形态分析技术。阅读全文。